序号

标准编号

标准名称

1

GB/T3163-1993

真空技术术语

2

GB/T3164-1993

真空技术系统图用图形符号

3

GB/T6070-1995

真空法兰

4

GB/T16709-1996

真空技术管路配件装配尺寸

5

GB4982-1985

夹紧型真空快卸法兰

6

GB4983-1985

拧紧型真空快卸法兰

7

GB6071.1-1985

超高真空法兰结构型式

8

GB6071.2-1985

超高真空法兰尺寸

9

GB6070.3-1985

超高真空法兰用铜密封垫

10

GB/T8105.1～8105.2-1999

真空规管接头

11

GB7775-1987

蒸汽流真空泵加热时间和加热功率测试方法

12

GB7776-1987

蒸汽流真空泵泵液返流率测试方法

13

GB7774-1987

涡轮分子泵性能测试方法

14

GB/TⅢ64-1999

真空镀膜设备通用技术条件

15

GB/T18193-2000

真空技术质谱检漏仪校准