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表3-1常用真空泵的工作压强范围及起动压强
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真空泵种类 |
工作压强范围（Pa） |
起动压强（Pa） |
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1×105～1.3×102 |
1×105 |
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旋片式真空泵 |
1×105—6.7×10-1 |
1×105 |
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水环式真空泵 |
1×105—2.7×103 |
1×105 |
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罗茨真空泵 |
1.3×103—1.3 |
1.3×103 |
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涡轮分子泵 |
1.3—1.3×10-5 |
1.3 |
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水蒸气喷射泵 |
1×105—1.3×10-1 |
1×105 |
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油扩散泵 |
1.3×10-2—1.3×10-7 |
1.3×10 |
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油蒸气喷射泵 |
1.3×10—1.3×10-2 |
<1.3×105 |
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分子筛吸附泵 |
1×105—1.3×10-1 |
1×105 |
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溅射离子泵 |
1.3×10-3—1.3×10-9 |
6.7×10-1 |
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钛升华泵 |
1.3×10-2—1.3×10-9 |
1.3×10-2 |
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1.3×10—1.3×10-11 |
1.3×10 |
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低温泵 |
1.3—1.3×10-11 |
1.3—1.3×10-1 |
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