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知识堂:涡轮分子泵优缺点的数据分析

2010/5/14/8:55来源:真空技术网作者:东北大学 杨乃恒

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    1、优点

    由于涡轮分子泵在某些方面,要比低温泵、离子泵和扩散泵表现得更优越。故在一般情况下,多选用涡轮分子泵。它的优点有:

    (1)清洁,无油蒸汽返流

    涡轮分子泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵(如图4)。

图4  涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图

图4  涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图

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    极限压力为2×10-7Pa

    图4涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图

    图4表明涡轮分子泵系统中不含有碳氢化合物,曲线上17和18为OH+和H2O+。

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